派瑞林涂层的应用领域-微电子机械系统
发布:2021-07-22 11:41,更新:2022-10-12 10:26
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。使用高纯度的Parylene作钝化层和介质层,能提供安全、稳定的防护。
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